ÀÚÀ̽º ÄÚ¸®¾Æ (ZEISS, ´ëÇ¥ÀÌ»ç: Á¤Çö¼®)°¡ ¿À´Â 1¿ù 31ÀϺÎÅÍ 2¿ù 2ÀϱîÁö ¼¿ï ÄÚ¿¢½º¿¡¼ ¿¸®´Â ‘¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ 2024’¿¡ Âü°¡ÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù. ÀÚÀ̽º ÄÚ¸®¾Æ´Â À̹ø Çà»ç¿¡¼ ±â¼ú ½ÉÆ÷Áö¾ö ¹× ºÎ½º Âü°¡¸¦ ÅëÇØ ÀÚÀ̽º ±¤ÇÐ ±â¼ú·ÂºÎÅÍ ¹ÝµµÃ¼ ÁÖ¿ä °øÁ¤¿¡ È°¿ëµÇ´Â ´Ù¾çÇÑ Àåºñ¿Í ¼Ö·ç¼ÇÀ» ¼±º¸ÀÏ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ Àü½ÃȸÀÎ ‘¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ 2024’´Â ¸Å³â ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ¼ºÀå°ú ÃֽŠ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ±â¼ú µîÀ» È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀÚ¸®ÀÌ´Ù. ¿ÃÇØ Çà»ç´Â ‘Innovation Beyond Boundaries’¶ó´Â ÁÖÁ¦·Î Àü½Ã »Ó ¾Æ´Ï¶ó ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ Àü¹®°¡°¡ ¿¬»ç·Î Âü¿©ÇÏ´Â ±â¼ú ½ÉÆ÷Áö¾ö µî ´Ù¾çÇÑ ºÎ´ëÇà»çµµ °³ÃֵȴÙ. ÀÚÀ̽º ±×·ì¿¡¼´Â º»»ç ±â¼ú ·Îµå¸Ê ½Ã´Ï¾î µð·ºÅÍÀÎ ÇÏÀÌÄÚ ÆçÆ®¸¸ ¹Ú»ç (Heiko Feldmann)°¡ ¿¬»ç·Î Âü¼®ÇØ ‘EUV optics at ZEISS’¸¦ ÁÖÁ¦·Î ÀÚÀ̽ºÀÇ ±¤ÇÐ ±â¼ú·ÂÀÌ ¾î¶»°Ô EUVÀÇ »ý»ê¼º ¹× ÇØ»óµµ Çâ»ó¿¡ ±â¿©ÇÏ´ÂÁö ¼Ò°³ÇÑ´Ù. ÇØ´ç ¹ßÇ¥¿¡¼´Â 0.33 NA (Numerical Aperture: °³±¸¼ö)ÀÇ 1¼¼´ë EUV ±¤ÇÐ ½Ã½ºÅÛ°ú óÀ½À¸·Î ASML¿¡ Àü´ÞµÈ ¾Æ³ª¸ðÇÈ ¹èÀ²À» È°¿ëÇØ 0.55 NA¸¦ ½ÇÇöÇÑ ±¤ÇÐ ¸ðµâ¿¡ ´ëÇÑ ³»¿ëÀ» °øÀ¯ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
|
|
|
¡ã ÀÚÀ̽º ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±¤ÇÐ ¸ðµâ |
ÀÚÀ̽º ±×·ìÀº ¼³¸³ÀÚÀÎ Carl Zeiss(Ä® ÀÚÀ̽º)ÀÇ Çö¹Ì°æºÎÅÍ ½ÃÀÛµÈ 175³â ÀÌ»óÀÇ ¿ª»ç¸¦ °¡Áø µ¶ÀÏ ´ëÇ¥ ±¤Çбâ¾÷ÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡¼´Â ¾÷°èÀÇ ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Â DUV, EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇÀÇ ÇÙ½É ¿ä¼ÒÀÎ ±¤Çз»Áî ¸ðµâ ¹× Æ÷Å丶½ºÅ© ¼Ö·ç¼ÇºÎÅÍ °øÁ¤ Á¦¾î, ¼ÒÀç ¹× ÆÐŰ¡ 3D ºÐ¼®, ÃøÁ¤ µî ´Ù¾çÇÑ Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ±Û·Î¹ú À¯ÀÏ EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ(Lithography) °ø±Þ»çÀÎ ASMLÀÇ Àü·«Àû ÆÄÆ®³ÊÀ̱⵵ ÇÏ´Ù.
ÀÚÀ̽º ÄÚ¸®¾Æ´Â ÄÚ¿¢½º DȦ 418È£¿¡ À§Ä¡ÇÑ ºÎ½º¸¦ ÅëÇØ, ¹ÝµµÃ¼ »ýÅ°踦 ±¸¼ºÇÏ°í ÆÐŰ¡ µî ÁÖ¿ä °øÁ¤¿¡ È°¿ëµÇ´Â ´Ù¾çÇÑ ¼Ö·ç¼ÇÀ» ¼±º¸ÀÏ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ´ëÇ¥ÀûÀÎ ¼Ö·ç¼ÇÀ¸·Î´Â EUV Æ÷Å丶½ºÅ© °ü·Ã °áÇÔÀ» Æò°¡ÇÏ´Â ‘ZEISS AIMS® EUV’¿Í ‘3D Tomography(´ÜÃþÃÔ¿µ) °èÃø ¼Ö·ç¼Ç’ÀÌ ÀÖ´Ù. AIMS® EUV´Â Aerial Image(¿µ¿ª À̹ÌÁö) ±â¼úÀ» »ç¿ëÇØ Æ÷Å丶½ºÅ© °áÇÔÀ» °ËÁõÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ EUV AutoAnalysis ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î ÆÐÅ°Áö¸¦ »ç¿ëÇØ À̹ÌÁö ºÐ¼® ¹× µ¥ÀÌÅÍ Ã³¸® ÀÚµ¿ÈÀÇ ¼º´É °³¼±À» µ½´Â ¾×Ƽ´Ð ¸¶½ºÅ© ÃøÁ¤ ½Ã½ºÅÛÀÌ´Ù. 3D Tomography´Â Æ÷Ä¿½º À̿ºö(FIB)À¸·Î Á¦ÀÛÇÑ ´ÜÃþÀ» SEM(ÁÖ»çÀüÀÚ Çö¹Ì°æ) ¸ðµâÀ» È°¿ëÇØ 3Â÷¿ø À̹ÌÁö·Î ±¸ÇöÇÏ´Â Àåºñ´Ù. À̸¦ ÅëÇØ ³ª³ë¹ÌÅÍ Á¤È®µµÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅÏ »ùÇøµ, ºÐ¼®, ÃøÁ¤ ¹× °ËÁõÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
ÀÌ¿Í ÇÔ²² ÃÖ÷´Ü °íÇØ»óµµ 3D X-ray ¼Ö·ç¼ÇÀÎ ZEISS Xradia 630 Versa¸¦ ÅëÇØ ºñÆı« ºÐ¼®À» È°¿ëÇÏ°í, ´Ù¾çÇÑ ºÐ¼®¹ý¿¡ ¸Â´Â È¿°úÀûÀÎ »ùÇøµÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÏ´Â ZEISS Crossbeam laserµµ ¼Ò°³ÇÑ´Ù. ZEISS GeminiSEMÀÇ lowkvºÐ¼®¹ýÀ» ÅëÇÑ high resolution Ç¥¸é ¹× Àç·á À̹ÌÁö´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ¹× ÆÐŰ¡ÀÇ Á¤È®ÇÑ ºÐ¼®¿¡ È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ ¿Ü¿¡µµ ¹ÝµµÃ¼ ºÎÇ° Á¦Á¶¿¡ È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â »ê¾÷¿ë CT Á¦Ç°ÀÎ ZEISS METROTOM 1500 ¿Í Á¤¹Ð °èÃø 3Â÷¿ø ÃøÁ¤±âµµ ºÎ½º¿¡¼ È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÚÀ̽º ÄÚ¸®¾Æ Á¤Çö¼® ´ëÇ¥´Â “¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ 2024 Çà»ç¸¦ ÅëÇØ ÀÚÀ̽ºÀÇ ´Ù¾çÇÑ ¼Ö·ç¼ÇÀ» ¼±º¸ÀÏ ¼ö ÀÖ°Ô µÅ ±â»Ú´Ù. À۳⺸´Ù ´õ ³Ð°í °³¹æµÈ ºÎ½º¸¦ ÅëÇØ ´Ù¾çÇÑ ±â¾÷µé°ú ´õ È°¹ßÇÑ ³×Æ®¿öÅ·ÀÌ ÀÌ·ïÁö±æ ±â´ëÇÑ´Ù”°í ¹àÇû´Ù. ¶ÇÇÑ “ÃøÁ¤ºÎÅÍ EUV ±¤ÇÐ ¸ðµâ±îÁö, ÀÚÀ̽ºÀÇ »ç¾÷ºÎµéÀÌ Á¦°øÇÏ´Â ´Ù¾çÇÑ ¼Ö·ç¼ÇÀ» ÅëÇØ Çѱ¹ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ ¼ºÀåÀ» ¹°½É¾ç¸é Áö¿øÇÒ °Í”À̶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
ÇÑÆí, À̹ø Çà»ç ±â°£ µ¿¾È ÀÚÀ̽º ÄÚ¸®¾Æ ºÎ½º(DȦ 418È£)¿¡´Â ä¿ë ´ã´çÀÚ°¡ »óÁÖÇÏ¿© ÀÚÀ̽ºÀÇ ±Û·Î¹ú ä¿ë, 2024³âµµ ÀÚÀ̽º ÄÚ¸®¾Æ »ó¹Ý±â Çà»ç ¹× Ãë¾÷ ±âȸ¸¦ ¼Ò°³ÇÏ°í, ZEISS Open Day Âü°¡ ½Åûµµ Á¢¼öÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. Çѱ¹ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì·¡ ÀÎÀçµéÀ» À§ÇÑ ÀÚ¸®ÀÎ ‘ZEISS Open Day’´Â ÀÚÀ̽º ÄÚ¸®¾Æ ÀԻ縦 Èñ¸ÁÇÏ´Â ÇлýµéÀÌ ÀÚÀ̽º ÄÚ¸®¾Æ ¼¿ï º»»ç¸¦ ¹æ¹®ÇÏ´Â ÀÚÀ̽º ºê·£µå¼¾ÅÍ Åõ¾î ¹× ÇöÁ÷ ¿£Áö´Ï¾î¿ÍÀÇ ³×Æ®¿öÅ· ÇÁ·Î±×·¥ÀÌ´Ù. |