회사인 ST마이크로일렉트로닉스(STMicroelectronics, 이하 ST)가 환경을 공간상으로 스캐닝 할 수 있는 소형 MEMS 미러를 인텔(Intel®)과 함께 개발했다. 인텔은 이 마이크로 미러를 기반으로 라이다(LiDAR[1]) 시스템을 개발해 빈 피킹(Bin Picking)용 로봇팔, 체적 측정, 물류, 3D 스캐닝과 같은 산업용 애플리케이션에서 고해상 스캐닝을 제공한다.

ST의 소형 크기 마이크로 미러는 인텔 리얼센스((RealSense™) 라이다 카메라 L515에 내장돼 라이다 카메라를 하키공 크기(직경 61mm x 높이 26mm)로 구현하는 데 기여했다. 이 마이크로 미러는 전체 시야 범위에 대해 연속 레이저 스캐닝이 가능하다. 리얼센스 라이다 카메라 L515는 맞춤형 포토다이오드 센서와 결합돼 전체 장면에 대한 3D 심도 맵을 렌더링한다.

ST의 아날로그, MEMS 및 센서 그룹 사장인 베네데토 비냐(Benedetto Vigna)는 “ST의 2세대 마이크로 미러는 속도가 초당 30프레임에 시야각이 70° x 55°로 3D 스캐닝 및 감지 애플리케이션 분야에서 계속 새로운 기준을 수립하고 있다”며, “마이크로 미러에 대한 공급관계를 인텔과 장기적으로 유지하고 있다는 점에서, ST가 MEMS 분야에서의 오랜 리더십을 바탕으로 고객의 까다로운 기술 및 공급 요건을 충족하기 위해 끊임없이 노력해 왔다는 사실을 알 수 있다”고 밝혔다.

L515는 ST의 MEMS 스캐닝 성능을 활용하여 보간 픽셀 없이도 고해상 심도를 재현, 시야각을 제어하며, 50nS 초반 대의 짧은 노출 시간을 통해 제로급의 픽셀 블러(Blur)를 제공한다.

인텔 EGI(Emerging Growth and Incubation) 그룹 총괄 매니저이자 기업 부사장 겸 CIO(Chief Incubation Officer)인 사지 벤모시(Sagi BenMoshe)는 “인텔 리얼센스 기술은 로보틱스, 물류, 스캐닝 및 기타 컴퓨터 비전 애플리케이션을 위한 제품 및 솔루션 개발에 사용된다. ST의 마이크로 미러를 활용한 인텔 리얼센스 라이다 카메라 L515는 탁월한 정밀도를 제공하며, 세계에서 가장 작은 고해상 라이다 심도 카메라로, 다양한 사례에 적용이 가능하다”라고 설명했다.