사이버옵틱스 코퍼레이션(CyberOptics® Corporation)(나스닥: CYBE)이 2020년 2월 5~7일 서울 코엑스에서 열리는 ‘세미콘 코리아(SEMICON Korea)’에 부스(#C236)를 열고 반도체 장비 세트업과 진단을 위한 ‘웨이퍼센스(WaferSense®) 오토 레지스턴스 센서(Auto Resistance Sensor™, 약칭 ARS)’와 ‘사이버스펙트럼(CyberSpectrum™)’ 소프트웨어를 전시한다.

사이버옵틱스는 고정밀 3D 감지 기술 솔루션을 개발, 제조하는 세계 선도 기업이다.

‘사이버스펙트럼’ 소프트웨어와 함께 제공되는 300mm의 ARS는 반도체 전기화학 증착(Electrochemical Deposition, 약칭 ED) 애플리케이션에서 도금 셀 접촉의 저항을 실시간 측정할 수 있게 해준다. ARS는 도금 핀에 영향을 미치는 잔류물을 감지하는 켈빈 센싱법(Kelvin Sensing)(4선 저항)을 사용해 50개의 주변 개별패드로 저항 측정을 신속하게 식별하고 모니터링한다.

반도체 팹의 프로세스 및 장비 엔지니어는 일정 시간 후 측정된 평균 저항을 정량 분석해 장비 보수가 필요한 시기를 예측하고 장비 유지보수 주기를 단축하며, 웨이퍼와 같은 4선 저항 센서 및 ‘사이버스펙트럼’ 소프트웨어의 객관적이고 반복 가능한 데이터로 셀 간 균일성을 향상시킬 수 있다.

수보드 쿨카니(Subodh Kulkarni) 사이버옵틱스 사장 겸 최고경영자(CEO)는 “우리는 전 세계 반도체 팹과 장비 주문자상표부착생산(OEM) 업체에서 사용되는 독자적인 웨이퍼센스 장비 라인을 확대해 수율과 장비 가동 시간을 크게 개선했다”고 밝혔다. 그는 “새로 출시한 ARS는 무선으로 반도체 팹 내 전기화학 증착 애플리케이션에 대한 실시간 저항 측정을 감지, 모니터링할 수 있다”며 “사이버옵틱스의 다른 웨이퍼센스 장비와 마찬가지로 ARS는 시간과 비용을 절감하고 프로세스를 개선할 수 있다”고 설명했다.

사이버옵틱스는 ‘웨이퍼 센스 오토 바이브레이션 레벨링 센서(Auto Vibration and Leveling Sensor, 약칭 AVLS3)’도 함께 전시할 예정이다. 두께가 3.5mm에 불과한 AVLS3은 웨이퍼가 배송되는 대부분의 팹 위치로 쉽게 운송할 수 있다. 화학적 강화 유리(Chemically Hardened Glass, 약칭 CHG) 기판은 웨이퍼를 쉽게 다룰 수 있도록 해주며 진공 처킹(vacuum chucking)을 개선해준다. AVLS3과 사이버스펙트럼 소프트웨어는 진동과 조절 데이터를 동시에 수집, 보여줌으로써 신속한 장비 세트업과 실시간 장비 진단을 지원한다.