÷´Ü±â¼ú±³À° Àü¹®±â¾÷ ¾ÆÀÌÁö´Â ¹ÝµµÃ¼ ÇöóÁ °øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ Àü¹ÝÀûÀÎ ¿ä¼Ò±â¼úÀ» ½Ç½ÀÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹ÝµµÃ¼ ÇöóÁ ÀÀ¿ë ½Ç½À Àåºñ °³¹ß¿¡ ¼º°øÇØ º»°ÝÀûÀÎ °ø±Þ¿¡ ³ª¼¹´Ù°í 23ÀÏ ¹àÇû´Ù.
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ¶óÀο¡¼ ÇöóÁ °øÁ¤ÀÌ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇÏ´Â ¸¸Å ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ±³À° ½Ç½À ÇöÀå¿¡¼ ÇöóÁ ÀÀ¿ë ½Ç½ÀÀº »©³õÀ» ¼ö ¾ø´Â °úÁ¦´Ù.
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡¼ ÇöóÁ´Â ÁõÂø, ½Ä°¢, ¼¼Á¤, ÀÌ¿Â ÀÓÇöõÆ® °øÁ¤°ú ÇÔ²² Æ÷Åä °øÁ¤ Áß EUV ¹ß»ý µî¿¡ »ç¿ëµÈ´Ù. ÀüÀÚ±âÀåÀ» ÅëÇØ Á¦¾î °¡´ÉÇÑ ±âü ±¸Á¶¸¦ Áö´Ñ ÇöóÁ´Â ÀûÀº ¿¡³ÊÁö ÅõÀÔÀ¸·Îµµ ºü¸£°Ô ÈÇйÝÀÀÀ» ÁøÇàÇÒ ¼ö ÀÖ°í, ¾çÀÌ¿Â, À½ÀÌ¿Â, ¶óµðÄ®, ¿øÀÚ, ºÐÀÚ µî ´Ù¾çÇÑ ÀÔÀÚ·Î ÀÌ·ïÁ® ÀÖ¾î »õ·Î¿î ÈÇÐ ¹ÝÀÀÀ̳ª ´õ ºü¸¥ ÈÇÐ ¹ÝÀÀÀ» À¯µµÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÇöóÁÀÇ ÀÌ·¯ÇÑ Æ¯¼ºÀº ¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú ¹ßÀü¿¡ µû¸¥ ´õ ³ôÀº ¼öÁØÀÇ °øÁ¤À» ±¸ÇöÇÏ´Â µ¥ È°¿ëµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¾ÕÀ¸·Îµµ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡¼ ÇöóÁ °øÁ¤ÀÇ È°¿ë ¹üÀ§´Â ´õ ³Ð¾îÁú °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
¾ÆÀÌÁö°¡ À̹ø¿¡ °³¹ßÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ÇöóÁ ÀÀ¿ë ½Ç½À Àåºñ´Â °øÁ¤ ¼³°è¿Í ÇÔ²² Á¦¾î ½Ç½À±îÁö °¡´ÉÇÑ ±³À° Àåºñ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ÇöóÁ °øÁ¤ÀÇ Á¦¾î ¹× ºÐÇØ Á¶¸³, ·¹½ÃÇÇ Á¦¾î, Å×½ºÆ® µî ´Ù¾çÇÑ ¿î¿µ ½Ç½ÀÀ» Áö¿øÇÑ´Ù.
¾ÆÀÌÁöÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ÇöóÁ ÀÀ¿ë ½Ç½À Àåºñ´Â ¹ÝµµÃ¼ ÇöóÁ °øÁ¤ÀÇ ÇÁ·Î¼¼½º ÀåÄ¡¸¦ Á¦¾îÇÏ´Â ÄÁÆ®·Ñ ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇϸç, Á¦¾î ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î ¼Ö·ç¼Ç ¹× Á¦¾î±â¸¦ Áö¿øÇÏ°í, ¹ÝµµÃ¼ ±¸¼º ¸ðµâ(RF Generator, Throttle Valve µî)°úÀÇ EtherNET ¹× RS-232 Åë½Å Á¦¾î°¡ °¡´ÉÇÏ´Ù.
¶ÇÇÑ °øÁ¤¿¡¼ ÃëµæÇÑ µ¥ÀÌÅ͸¦ ÀúÀå ¹× °ü¸®ÇÏ´Â µ¥ÀÌÅÍ ¼¹ö¿Í ¿¬°èÇØ ¿î¿ëÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ¸®¾ó ½Ã½ºÅÛ°ú °¡»ó ½Ã½ºÅÛÀ» »óÈ£ ¿¬°èÇÑ ¿î¿ëµµ Áö¿øÇÑ´Ù.
ÀÌ Àåºñ¸¦ ÅëÇØ ¡â¿þÀÌÆÛ Ç¥¸éÀ» Á¤¸®ÇÏ°í È°¼ºÈ½ÃÄÑ ´ÙÀ½ °øÁ¤ ´Ü°è¿¡ ´ëÇÑ Á¢Âø·ÂÀ» Áõ°¡½ÃÅ°´Â ±â´É ¡â¿þÀÌÆÛÀÇ Æ¯Á¤ ºÎºÐÀ» ¼±ÅÃÀûÀ¸·Î Á¦°ÅÇØ ¿øÇÏ´Â ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â ¿¡Äª ±â´É ¡âÇöóÁ¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ´Ù¾çÇÑ ¹°ÁúÀ» ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸é¿¡ ¾ãÀº ÃþÀ¸·Î ÁõÂøÇÏ´Â ±â´É ¡âÇöóÁ·Î ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸éÀÇ ¼ºÁúÀ» º¯È½ÃÄÑ Àü±âÀû·ÈÇÐÀû Ư¼ºÀ» °³¼±Çϴ ǥ¸é °³Áú ±â´É ¡â¿þÀÌÆÛ »óÀÇ ºÒ¼ø¹°À» Á¦°ÅÇØ °íµµÀÇ Ã»Á¤µµ¸¦ À¯ÁöÇϴ Ŭ¸®´× ±â´É µîÀ» ±¸ÇöÇÔÀ¸·Î½á ¹ÝµµÃ¼ ÇöóÁ °øÁ¤ÀÇ ´Ù¾çÇÑ ±â´ÉÀ» ½Ç½ÀÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ƯÈ÷ ¾ÆÀÌÁö´Â ÇØ´ç Àåºñ¸¦ Çѱ¹¹ÝµµÃ¼»ê¾÷Çùȸ¿¡¼ ¿î¿µÇÏ´Â ±³À°°úÁ¤¿¡ È°¿ëµÇµµ·Ï ÇÔÀ¸·Î½á ÇöÀåÇü ¹ÝµµÃ¼ ÀÎÀ縦 ¾ç¼ºÇϴµ¥ Å©°Ô ±â¿©ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ¿Ü¿¡µµ ¾ÆÀÌÁö´Â ¹ÝµµÃ¼ 8´ë °øÁ¤ ½Ç½À Àåºñ¸¦ °ø±ÞÇØ Àü¹®´ëÇб³ ¹× Á÷¾÷´ëÇб³, ¹ÝµµÃ¼ ¸¶À̽ºÅÍ°í µî¿¡ ±³À°°úÁ¤À» ¾È³»ÇÏ°í ±³¿ø ¹× Çлý ¿¬¼ö¸¦ ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù.
±×°£ ¹ÝµµÃ¼ ¿ÀÆÛ·¹ÀÌÅÍ, ¸ÞÀÎÆ®, ¶Ç´Â ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¼³°è·Á¦Á¶¿Í °°Àº ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ºÐ¾ß ±â¼ú Á÷±ºÀÇ Àη ¾ç¼º±³À°Àº Àü¹® ¿ÀÆÛ·¹ÀÌÅÍ°¡ ½ÇÁ¦ ¹ÝµµÃ¼ ¼³ºñ¸¦ ¿î¿ëÇÏ´Â ¸ð½ÀÀ» ÇлýµéÀÌ Âü°üÇÏ´Â ÇüÅ·ΠÁøÇàµÅ ¿Ô´Ù.
¾ÆÀÌÁö°¡ ¾à 1³â 6°³¿ù¿¡ °ÉÃÄ °³¹ßÇÑ ¹ÝµµÃ¼ 8´ë °øÁ¤ ½Ç½À Àåºñ´Â ¡â¿þÀÌÆÛ Á¦Á¶ ¡â»êÈ ¡âÆ÷Åä ¡â½Ä°¢/¹Ú¸·/ÁõÂø ¡â½À½Ä ¡â¼¼Á¤ ¡âÀÌ¿Â ¡âÁÖÀÔ-EDS-¾ð·Îµù/ÆÐŰ¡ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ 8´ë °øÁ¤À» ¸ðµâÈÇÑ ±³À° ÈÆ·Ã Àåºñ·Î, ÇлýµéÀÌ Á÷Á¢ °ü·Ã ¼³ºñ¸¦ Á¶ÀÛÇÏ°í ÀüüÀûÀÎ °øÁ¤ È帧À» ÀÌÇØÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¼³°èµÆ´Ù.
¾ÆÀÌÁö´Â ¹ÝµµÃ¼ 8´ë °øÁ¤ ½Ç½ÀÀÌ °¡´ÉÇÑ ±³À° Àåºñ¿Í ÇöóÁ All-in-One ±³À° Àåºñ¸¦ ÅëÇØ ½ÇÁ¦ ¹ÝµµÃ¼¸¦ °øºÎÇÏ´Â ÇлýµéÀÌ FAB¿¡ µé¾î°¡Áö ¾Ê°íµµ ÷´ÜÀÇ ±³À°À» ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖµµ·Ï Áö¿øÇÏ°í ÀÖ´Ù¸ç, ÇâÈÄ ¸¶À̽ºÅÍ°í, ´ëÇÐ, °ü·Ã ±â°ü µî°úÀÇ Çù·ÂÀ» ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼¿Í °°Àº ÷´Ü»ê¾÷ Àη¾缺¿¡ Å« ÈûÀ» º¸ÅÅ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇÏ°Ú´Ù°í ¹àÇû´Ù. |