ZEISS ÄÚ¸®¾Æ (´ëÇ¥ÀÌ»ç: Á¤Çö¼®)°¡ ¿À´Â 2¿ù 1ÀϺÎÅÍ 3ÀϱîÁö °³ÃÖÇÏ´Â ‘¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ 2023’¿¡ Âü°¡ÇØ ´Ù¾çÇÑ ¼Ö·ç¼ÇÀ» ¼±º¸ÀÎ´Ù°í ¹àÇû´Ù. ZEISS ÄÚ¸®¾Æ´Â ¼³¸³ÀÚÀÎ Carl Zeiss(Ä® ÀÚÀ̽º)ÀÇ Çö¹Ì°æºÎÅÍ ½ÃÀÛµÈ 176³â ¿ª»ç¸¦ °¡Áø µ¶ÀÏ ´ëÇ¥ ±¤Çбâ¾÷À¸·Î, ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡¼ ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Â ASML EUV(±ØÀڿܼ±) ¸®¼Ò±×·¡ÇÇÀÇ ÇÙ½É ºÎÇ°ÀÎ EUV ±¤Çз»Áî ¸ðµâ ¹× ´Ù¾çÇÑ ¼Ö·ç¼ÇÀ» º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
|
|
|
¡ã SMS - EUV AIMS |
±¹Á¦¹ÝµµÃ¼ÀåºñÀç·áÇùȸ(SEMI)°¡ ÁÖÃÖÇÏ´Â ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ Àü½ÃȸÀÎ ‘¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ 2023’´Â ¸Å³â ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ¼ºÀå°ú ÃֽŠ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ±â¼ú µî ´Ù¾çÇÑ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ º¯È¿Í ÁÖ¿ä ±â¾÷ÀÇ »õ·Î¿î ±â¼úÀ» È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀÚ¸®ÀÌ´Ù.
|
|
|
¡ã PCS - 3D tomography °èÃøÀåºñ |
À̹ø ‘¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ 2023’¿¡¼ ZEISS ÄÚ¸®¾Æ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¸¶½ºÅ© »ç¾÷ºÎ(SMS)ÀÇ ÃֽŠEUV ±â¼ú¿¡ È°¿ëµÇ´Â Æ÷Å丶½ºÅ© ¼Ö·ç¼ÇÀ¸·Î ¾×Ƽ´Ð ¸¶½ºÅ© ÃøÁ¤½Ã½ºÅÛÀÎ ‘AIMS(Aerial Imaging Measurement System) EUV’, ¹ÝµµÃ¼ ÇÁ·Î¼¼½º ÄÁÆ®·Ñ »ç¾÷ºÎ(PCS)ÀÇ ‘3D Tomography(´ÜÃþÃÔ¿µ) °èÃøÀåºñ’¸¦ ¼±º¸ÀÏ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. AIMS EUV´Â ÀÔÁõµÈ Aerial Image(¿µ¿ª À̹ÌÁö) ±â¼úÀ» »ç¿ëÇØ EUV Æ÷Å丶½ºÅ©¸¦ °ËÁõÇÏ°í EUV AutoAnalysis ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î ÆÐÅ°Áö¸¦ Áö¿øÇØ À̹ÌÁö ºÐ¼® ¹× µ¥ÀÌÅÍ Ã³¸® ÀÚµ¿ÈÀÇ ¼º´É °³¼±À» µ½´Â´Ù. 3D Tomography °èÃøÀåºñ´Â FIB(Áý¼Ó ÀÌ¿Â ºö)·Î Á¦ÀÛÇÑ °¢°¢ ´ÜÃþÀ» SEM(ÁÖ»çÀüÀÚ Çö¹Ì°æ)À¸·Î À̹Ì¡ ÇÏ¿© 3Â÷¿øÀ¸·Î ÀçÁ¶ÇÕÇÏ°í, ÀçÁ¶ÇÕÇÑ À̹ÌÁö·ÎºÎÅÍ ¹ÝµµÃ¼ ÆÐÅÏÀÇ ³ª³ë¹ÌÅÍ Á¤È®µµÀÇ »ùÇøµ, ºÐ¼®, ÃøÁ¤ ¹× °ËÁõÀ» Áö¿øÇÑ´Ù.
|
|
|
¡ã RMS -GeminiSEM |
Çö¹Ì°æ »ç¾÷ºÎ(RMS)¿¡¼´Â ´Ù¾çÇÑ È°¿ëÀÌ °¡´ÉÇÑ °íÇØ»óµµ À̹Ì¡°ú Ư¼ºÈ¸¦ À§ÇÑ ÁÖ»çÀüÀÚ Çö¹Ì°æÀÎ ‘ZEISS GeminiSEM’, ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ¹× ÆÐŰ¡ÀÇ 3D ºÐ¼®°ú »ùÇÃÀ» Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ‘ZEISS Crossbeam’À» ¼Ò°³ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ÀÌ¿Ü¿¡µµ Ç°Áú ¼Ö·ç¼Ç »ç¾÷ºÎ (IQS)ÀÇ 3Â÷¿ø X-ray CT ÀåºñÀÎ ‘ZEISS Metrotom’ Àåºñµµ ÇÔ²² ¼Ò°³ÇÑ´Ù.
|
|
|
¡ã RMS – Crossbeam |
¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ 2023 Çà»ç¸¦ ¾ÕµÐ ZEISS ÄÚ¸®¾ÆÀÇ Á¤Çö¼® ´ëÇ¥´Â “Çѱ¹¿¡¼ ¿¸®´Â °¡Àå Å« ¹ÝµµÃ¼ Çà»çÀÎ ¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ¿¡¼ ZEISSÀÇ ÃֽŠ±â¼úµéÀ» ¼±º¸ÀÏ ¼ö ÀÖ¾î¼ ±â»Ú´Ù”¶ó¸ç “ZEISS´Â ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ´Ù¾çÇÑ ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇÏ´Â ±â¾÷À¸·Î, º» Çà»ç¸¦ ÅëÇØ Çѱ¹ÀÇ ´Ù¾çÇÑ °í°´»ç¿Í ´õ¿í µ·µ¶ÇÑ ÆÄÆ®³Ê½ÊÀ» ±¸ÃàÇÒ °Í”À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
ÇÑÆí, ZEISS ÄÚ¸®¾Æ´Â ÇöÀå¿¡¼ ¿ì¼öÇÑ ÀÎÀ縦 ä¿ëÇϱâ À§ÇÑ È°µ¿µµ º´ÇàÇÒ °èȹÀÌ´Ù. ZEISS ÄÚ¸®¾Æ ºÎ½º(D530)¿¡¼ HRÆÀ°ú Çö¾÷ ¿£Áö´Ï¾î°¡ ÇÔ²² ZEISS ÄÚ¸®¾Æ¿¡¼ ¿£Áö´Ï¾î·Î ¼ºÀåÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±âȸ¿Í 2023³âµµ ä¿ë¿¡ ´ëÇÑ Á¤º¸¸¦ Á¦°øÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ ºÎ½º¿¡ ¹æ¹®ÇÑ ÇлýµéÀ» ´ë»óÀ¸·Î °æ±âµµ µ¿Åº¿¡ À§Ä¡ÇÑ ZEISS À̳뺣ÀÌ¼Ç ¼¾ÅÍ¿¡¼ Ä·ÆÛ½º Åõ¾î¸¦ ½Ç½ÃÇÏ¿© ZEISSÀÇ ´Ù¾çÇÑ ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á÷Á¢ üÇèÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÇÁ·Î±×·¥À» ÁøÇàÇÑ´Ù. |