¹ÝµµÃ¼∙µð½ºÇ÷¹ÀÌ µî ÃÊÁ¤¹Ð »ê¾÷¿ë ÈÇмÒÀç Àü¹® ¿µÃ¢ÄɹÌÄ®(112290)ÀÌ ±¹³» ±â¾÷ ÃÖÃÊ·Î EUV(±ØÀڿܼ±) ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤¿ë ¸°½º °³¹ßÀ» ¾ÕµÎ°í ÀÖ´Ù.
¿µÃ¢ÄɹÌÄ®Àº ÇØ´ç °øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ Å×½ºÆ® ¸·¹ÙÁö ´Ü°è¿¡ µé¾î¼¹À¸¸ç, ¿¬³»¿¡ ½ÃÁ¦Ç° °øÁ¤ Å×½ºÆ®¸¦ ¿Ï·áÇØ º»°ÝÀûÀÎ »ó¾÷ »ý»êÀ» °³½ÃÇÏ°í ±Û·Î¹ú ½ÃÀå¿¡ ÁøÃâÇÒ °èȹÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù.
ƯÈ÷ ÀÌ Á¦Ç°Àº µ¶ÀÏ MÞä¿Í »ó¿ëÈ °æÀïÀÌ Ä¡¿ÇÑ Á¦Ç°À¸·Î, ¿µÃ¢ÄɹÌÄ®ÀÇ EUV ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤¿ë ¸°½º °³¹ßÀº ±¹³» ±â¾÷À¸·Î´Â ù »ç·Ê´Ù. ¿µÃ¢ÄɹÌÄ®Àº ±Û·Î¹ú ½ÃÀå È®´ë ¹× ºü¸¥ ½ÃÀå ¼±Á¡À» À§ÇØ »ý»ê ¼³ºñ ÅõÀÚ ¹× Áõ¼³À» ÃßÁø ÁßÀ̸ç, »ó¿ëÈ ÀÌÈÄ Áö¼ÓÀûÀÎ ¸ÅÃâ È®´ë ¹× ¼öÀͼº Áõ´ë°¡ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.
‘EUV ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤¿ë ¸°½º’´Â Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¿þÀÌÆÛ ³ë±¤ °øÁ¤ ÈÄ ³ë±¤ ÆÐÅÏ °áÇÔ ¹× ºØ±«¸¦ °¨¼Ò½ÃÅ°´Â ±â´É¼º ¼¼Á¤Á¦·Î, ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê ¼öÀ²¿¡ °áÁ¤ÀûÀÎ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´Â Á¦Ç°ÀÌ´Ù. Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(PR. Photoresist)´Â ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ¿Í µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¹Ú¸· Æ®·£Áö½ºÅÍ Ç¥¸é µî¿¡ ¹Ì¼¼ ȸ·Î¸¦ Çü¼ºÇϱâ À§ÇØ »ç¿ëµÇ´Â °¨±¤¹ÝÀÀ ¹°ÁúÀÌ´Ù.
EUV´Â ºÒȾƸ£°ï(ArF) ±¤¿ø ´ëºñ ÆÄÀå ±æÀÌ°¡ 14ºÐÀÇ 1·Î ª¾Æ 1³ª³ë¹ÌÅÍ(nm) ¼öÁØÀÇ ¼¼¹ÐÇÑ ÆÐÅÏ Á¦ÀÛÀÌ °¡´ÉÇÏ°í °øÁ¤ ¼ö°¡ Àû¾î »ý»ê¼ºµµ ³ôÀÏ ¼ö Àֱ⠶§¹®¿¡, EUV ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤Àº ÇâÈÄ 10¿© ³â°£ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ÇÙ½É °øÁ¤ÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. ÀÌ¿¡ µû¶ó EUV ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤¿ë ¸°½º´Â ÀÌ °øÁ¤ÀÇ ÁÖ¿ä ¼ÒÀç·Î¼ ½ÃÀåÀÌ Áö¼Ó È®´ëµÉ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.
¿µÃ¢ÄɹÌÄ® °ü°èÀÚ´Â “½ÇÁ¦·Î EUV ³ë±¤ Àåºñ ±Û·Î¹ú µ¶Á¡ ±â¾÷ÀÎ AÞä´Â Áö³ÇØ 42´ëÀÇ Àåºñ¸¦ °ø±ÞÇߴµ¥, ¿ÃÇØ´Â 55´ë, ³»³â¿¡´Â 60´ë±îÁö °ø±Þ·®ÀÌ ´Ã¾î³¯ °ÍÀ¸·Î ³»´Ùº¸°í ÀÖ´Ù”¸é¼ “EUV ³ë±¤ Àåºñ È®´ë´Â EUV ³ë±¤ ¸°½º ¼ö¿ä Áõ´ë·Î À̾îÁö¹Ç·Î, ¿µÃ¢ÄɹÌÄ®Àº ¿ÃÇØ Ãʵµ ¸ÅÃâÀ» ½ÃÀÛÀ¸·Î Áö¼ÓÀûÀÎ ¸ÅÃâ È®´ë¸¦ À̾ ¼ö ÀÖÀ» °Í”À̶ó°í °Á¶Çß´Ù.
ÇÑÆí, 2001³â ¼³¸³µÈ ¿µÃ¢ÄɹÌÄ®Àº ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ °øÁ¤¿ë ¼ÒÀç °³¹ß ±â¾÷ÀÌ´Ù. 2004³â ±¹³» ÃÖÃÊ·Î ºÒȾƸ£°ï(ArF)°ú ºÒÈÅ©¸³Åæ(KrF) µî ¹ÝµµÃ¼ ±¤¿ø¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¸°½º °³¹ß¿¡ ¼º°øÇßÀ¸¸ç, 2019³â ÀϺ» ¼öÃâ±ÔÁ¦°¡ ½ÃÀÛµÇ¸é¼ ½ÃÀåÀÇ ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ¾Ò´Ù. ÇöÀç °¨±¤¾× µî ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ °øÁ¤¿ë ÇÙ½É ÈÇÐ ¼ÒÀ縦 »ý»êÇØ ±Û·Î¹ú ÆÄ¿îµå¸® ¾÷ü¿¡ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¿ÃÇØ 7¿ù ÄÚ½º´Ú ½ÃÀå¿¡ »óÀåÇß´Ù.
Áö³ÇØ ½ÇÀûÀº ¸ÅÃâ¾× 664¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 22¾ï¿øÀÌ´Ù. ȸ»ç´Â ¿ÃÇØ »ó¹Ý±â¿¡ ¸ÅÃâ¾× 402¾ï¿øÀ» ±â·ÏÇßÀ¸¸ç, ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 30¾ï¿øÀ» ´Þ¼ºÇØ ¹Ý±â¸¸¿¡ Áö³ÇØ Àüü ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀ» Èǽ ³Ñ°å´Ù. Àü³â µ¿±â ´ëºñÇؼ´Â ¸ÅÃâ¾×°ú ¿µ¾÷ÀÌÀÍ °¢°¢ 34.5%, 184.5% Áõ°¡ÇÑ ¼öÄ¡´Ù. |