¹ÝµµÃ¼ ºÎÇ° ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ Á¦Á¶¿ë ±â°è Á¦Á¶ Àü¹®±â¾÷ ÄÉÀÌ¿£Á¦ÀÌ(´ëÇ¥ÀÌ»ç ½ÉÈ£¼·)°¡ 16~17ÀÏ ¾çÀÏ°£ ÀϹÝÅõÀÚÀÚ ´ë»óÀ¸·Î °ø¸ð û¾àÀ» ÁøÇàÇÑ °á°ú 1105:1ÀÇ Ã»¾à·üÀ» ±â·ÏÇß´Ù°í 17ÀÏ ¹àÇû´Ù.
À̹ø ÀÏ¹Ý Ã»¾àÀº Àüü °ø¸ðÁÖ½Ä 875,472ÁÖ Áß, 20%¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â 175,100ÁÖ¿¡ ´ëÇØ ÀϹÝÅõÀÚÀÚ ´ë»óÀ¸·Î ÁøÇàµÆ´Ù. ÃÑ 193,429,810ÁÖ°¡ û¾à Á¢¼öµÆÀ¸¸ç, û¾à Áõ°Å±ÝÀº ¾à 1Á¶ 638¾ï¿øÀ¸·Î Áý°èµÆ´Ù. ȸ»ç´Â ÃÖ±Ù ±â°üÅõÀÚÀÚ ´ë»óÀ¸·Î ÁøÇàÇÑ ¼ö¿ä¿¹Ãø °á°ú, ¿ª´ë ÃÖ°í °æÀï·ü 1144:1À» ±â·ÏÇÏ¸ç °ø¸ð°¡°¡ Èñ¸Á °ø¸ð°¡ ¹üÀ§ ÃÖ»ó´ÜÀÎ 11,000¿øÀ¸·Î È®Á¤µÈ ¹Ù ÀÖ´Ù.
źȱԼÒ(SiC) ÄÚÆà ¿øõ±â¼úÀ» ÀÚü º¸À¯ ÁßÀÎ ÄÉÀÌ¿£Á¦ÀÌ´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ¿¡Äª °øÁ¤¿¡¼ ÃÖ±Ù ¼ö¿ä°¡ ±ÞÁõÇÏ°í ÀÖ´Â ÅºÈ±Ô¼Ò Æ÷Ä¿½º ¸µ(SiC Focus Ring)À» »ó¿ëÈÇϴµ¥ ¼º°øÇÏ°í, ½ÃÀå Á¡À¯¿¡ ÁýÁßÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ȸ»ç´Â À̹ø ÄÚ½º´Ú »óÀåÀ» °è±â·Î, ÇØ´ç »ç¾÷ È®Àå¿¡ ´õ¿í Èû¾´´Ù´Â ¹æħÀÌ´Ù. ÇöÀç ȸ»çÀÇ Ãæ³² ´çÁø °øÀå Àαٿ¡ ½Å°øÀåÀ» Áõ¼³ ÁßÀ̸ç, °øÀå ¿Ï°ø ½Ã Àüü »ý»ê ´É·Â(CAPA)Àº ±âÁ¸ ´ëºñ ¼¼ ¹è ÀÌ»óÀÌ È®º¸µÉ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ ÃÖ±Ù ±¹³» µð½ºÇ÷¹ÀÌ ½ÃÀå ´ë±Ô¸ð ÅõÀÚ È帧¿¡ µû¶ó, ȸ»çÀÇ µð½ºÇ÷¹ÀÌ »ç¾÷ ºÎ¹®µµ ¹ß ºü¸£°Ô ´ëÀÀ¿¡ ³ª°¥ °èȹÀÌ´Ù. ÄÉÀÌ¿£Á¦ÀÌÀÇ ´ëÇ¥ Á¦Ç° ¿¡Áö ±×¶óÀδõ(Edge Grinder)´Â µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÆгΠÁ¦Ç° »ý»ê °øÁ¤ Áß Àý´Ü¸é¿¡ ¹ß»ýÇÏ´Â »óó µîÀ» °í¸£°Ô ¿¬¸¶ÇÏ´Â °¡°ø ¼³ºñ·Î À¯¸® ±âÆÇ ±â¹Ý µð½ºÇ÷¹ÀÌ Á¦Á¶ °øÁ¤À̶ó¸é ¹Ýµå½Ã ÇÊ¿äÇÑ ÀåºñÀÎ ¸¸Å, ÇöÀç ¼öÇý°¡ ±â´ëµÇ´Â Á¦Ç°À̱⵵ ÇÏ´Ù.
ÄÉÀÌ¿£Á¦ÀÌ ½ÉÈ£¼· ´ëÇ¥´Â “ÄÉÀÌ¿£Á¦ÀÌÀÇ ±â¼ú·ÂÀ» ¹Ï°í °ü½ÉÀ» ÁֽŠÁÖÁÖ ¿©·¯ºÐ²² ±íÀº °¨»ç ¸»¾¸À» µå¸°´Ù”¸ç, “º¸³»ÁֽŠ¼º¿ø¿¡ ÈûÀÔ¾î ÄÚ½º´Ú »óÀå ÈÄ¿¡µµ ÁÖÁÖ°¡Ä¡ Á¦°í¸¦ À§ÇØ ²ÙÁØÈ÷ ³ë·ÂÇÏ´Â ±â¾÷ÀÌ µÇ°Ú´Ù”°í ¹àÇû´Ù.
ÇÑÆí, ÄÉÀÌ¿£Á¦ÀÌ´Â ¿À´Â 21ÀÏ Áõ°Å±Ý ³³ÀÔ ¹× ȯºÒÀ» °ÅÃÄ ´ÙÀ½´Þ 25ÀÏ ÄÚ½º´Ú ½ÃÀå¿¡ »óÀåµÈ´Ù. À̹ø °ø¸ð ÀÚ±ÝÀº ÅºÈ±Ô¼Ò Æ÷Ä¿½º ¸µ °øÀå Áõ¼³, ½ÅÁ¦Ç° ¿¬±¸°³¹ß ºñ¿ë, ±× ¿Ü ¿î¿µÀÚ±Ý µî¿¡ ¾²ÀÏ °èȹÀÌ´Ù. |