반도체 특수화학물질 및 첨단 소재 솔루션 기업인 인테그리스는 대만 지적 재산권 재판소가 자사의 ‘레티클 포드(Reticle Pod)’ 특허(등록번호: I-317917)를 침해한 구뎅정밀산업(Gudeng Precision Industrial Co., Ltd.)에 미화 3천 260만(약 363억원)에 달하는 손해배상 그리고 전체 관련 제품에 대한 회수 및 파기를 명령하는 판결을 내렸다고 밝혔다.

해당 재판장은 인테그리스 ‘레티클 SMIF 포드(Reticle SMIF Pod)’ 및 관련 제품의 특허(등록번호: I-317967)인 ‘레티클, 포지셔닝 및 배치와 관련된 레티클 캐리어’를 침해하는 모든 제품에 대해서 구뎅정밀산업이 직간접적 방법으로 더 이상 제조, 영업, 판매, 활용 또는 수입하지 않을 것을 명령했고, 특허를 침해하는 레티클 포드를 회수하고 파기하라고 지시했다.

인테그리스의 EUV 1010 레티클 포드는 마스크 결함을 개선하는데 있어 혁신적인 제품으로 평가됐으며, 어드밴스드 테크놀로지 노드를 위해 HVM(High Volume Manufacturing)을 도입하는 고객들은 보다 높은 효율성 및 처리량을 경험할 수 있게 됐다. 또한, 이 레티클 포드는 ASML으로부터 최첨단 EUV 장비인 NXE3400B 및 해당 라인업 제품에도 활용될 예정으로 최초 인증됐다.