¹ÝµµÃ¼ Ư¼öÈÇй°Áú ¹× ÷´Ü ¼ÒÀç ¼Ö·ç¼ÇÀÇ ¼±µµ¾÷üÀÎ ÀÎÅױ׸®½º(Entegris Inc.)´Â ¸»·¹ÀÌ½Ã¾Æ Ä𸲿¡ À§Ä¡ÇÑ ÃÖ÷´Ü ûÁ¤ Á¦Á¶ ½Ã¼³À» È®Àå ¹× °³ÀåÇϱâ·Î ¿À´Ã ¹àÇû´Ù. ¹ÌÈ 3000¸¸ ´Þ·¯ÀÇ ÅõÀÚ±ÝÀÌ À¯ÀÔµÈ À̹ø È®ÀåÀº Ä𸲠½Ã¼³ÀÇ »ý»ê·®À» 30% Áõ°¡½Ãų ¿¹Á¤À̸ç, ÀÌ´Â ÁÖ¿ä ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è °í°´»çµéÀÇ ²ÙÁØÇÑ ÆÄÆ®³Ê·Î¼ ÀÚ¸®¸Å±èÇÏ°Ô ÇØÁÙ °ÍÀÌ´Ù.
4Â÷ »ê¾÷ Çõ¸íÀº IC Á¦Á¶¿¡ ¸·´ëÇÑ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡°í ÀÖ´Ù. »õ·Î¿î ±â¼úÀº ¼ö¸¹Àº ¾çÀÇ Ä¨À» ÇÊ¿ä·ÎÇϸç, ĨÀÇ ¼º´É°ú ½Å·Ú¼º¿¡ ´õ¿í ÁßÁ¡À» µÎ°í ÀÖ´Ù. ÀÎÅױ׸®½º »çÀå°â CEO º£¸£Æ®¶û ·ÎÀÌ(Bertrand Loy) ´Â "ÀÌ·¯ÇÑ ¿äÀεé·Î ÀÎÇØ Àü¼¼°èÀûÀ¸·Î °í°´ÀÇ ¿þÀÌÆÛ Ãë±Þ Á¦Ç°¿¡ ´ëÇÑ ¼ö¿ä°¡ Áõ°¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù"¸ç, "ÀÎÅױ׸®½º´Â ÀÌ¿Í °°Àº ±Þ°ÝÇÑ ¼ö¿ä¸¦ ÃæÁ·½ÃÅ°±â À§ÇØ Ä𸲠Áö¿ªÀÇ »ý»ê ´É·Â°ú Á¦Á¶ ¿ª·®À» È®ÀåÇÏ°í »õ·Î¿î Àåºñ¿Í »çÃâ±â ¹× Á¶¸³¶óÀÎÀÇ ÃÖ½Åȸ¦ ÅëÇØ Å¹¿ùÇÏ°í µ¶º¸ÀûÀÎ Á¦Á¶ ½Ã¼³À» °®Ãß¾ú´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
ÀÎÅױ׸®½ºÀÇ Ã·´Ü ¼ÒÀç ó¸® »ç¾÷ºÎ(Advanced Materials Handling Division) ºô ¼¨³Ê(Bill Shaner) ¼ö¼® ºÎ»çÀåÀº "È®ÀåµÈ ÃÖ÷´Ü ûÁ¤½Ã¼³ Á¦Á¶ °øÀåÀ» ÅëÇØ, ÀÎÅױ׸®½º´Â ¿þÀÌÆÛ ¹× ·¹Æ¼Å¬ ó¸® ¼ö¿ä¸¦ Àü¼¼°è¿¡ Áö¿øÇÒ ¼ö ÀÖ°í, À̸¦ ÅëÇØ ÇöÀç¿Í ¹Ì·¡ÀÇ ±â¼ú³ëµå¸¦ ¼±µµÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù."°í ¸»Çß´Ù. ±×¸®°í "À̹ø È®ÀåÀº ¼ö»ó °æ·ÂÀÌ ÀÖ´Â FOUP¿¡ ´ëÇÑ ³ôÀº ¼ö¿ä¿Í, ASMLÀÇ ÀÎÁõÀ» ¹ÞÀº ÀÎÅױ׸®½º EUV ·¹Æ¼Å¬ Æ÷µåÀÇ Çʿ伺À» ÃæÁ·½ÃÅ°´Â ¾÷°èÀÇ ¿ä±¸¿¡ ºÎÇÕÇÑ´Ù"¶ó°í ¹àÇû´Ù. |