¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî(Applied Materials)´Â °í°´µéÀÌ EUV(±ØÀڿܼ±)·Î 2D °øÁ¤¹Ì¼¼È¸¦ Áö¼ÓÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô ÇÏ´Â Çõ½Å ±â¼ú°ú Â÷¼¼´ë 3D GAA(Gate All Around) Æ®·£Áö½ºÅÍ Á¦Á¶¸¦ À§ÇÑ ±â¼ú Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ ¹ßÇ¥Çß´Ù.
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»çµéÀº Æ®·£Áö½ºÅÍ ÁýÀûµµ¸¦ ³ôÀ̱â À§ÇØ µÎ °¡Áö »óÈ£º¸¿ÏÀû ¹æ¹ý¿¡ ÁýÁßÇÏ°í ÀÖ´Ù. ±× Áß Çϳª´Â ÀüÅëÀûÀÎ ¹«¾îÀÇ ¹ýÄ¢¿¡ ±â¹ÝÇÑ 2D °øÁ¤¹Ì¼¼È·Î, EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ¿Í Àç·á°øÇÐÀ» »ç¿ëÇØ ¼±ÆøÀ» Ãà¼ÒÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù. ´Ù¸¥ Çϳª´Â ¼³°è ±â¼ú °øµ¿ÃÖÀûÈ(DTCO)¿Í 3D ±â¼ú·Î ·ÎÁ÷ ¼¿ ·¹À̾ƿôÀ» È¿À²ÀûÀ¸·Î ÃÖÀûÈÇØ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ¼±Æø º¯È¿¡ ±¸¾Ö¹ÞÁö ¾Ê°í ÁýÀûµµ¸¦ ³ôÀÌ´Â °ÍÀÌ´Ù.
ÈÄ¸é ¹èÀü¸Á°ú GAA Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ Æ÷ÇÔÇÏ´Â ÈÄÀÚ ¹æ¹ýÀº ÀüÅëÀû 2D °øÁ¤¹Ì¼¼ÈÀÇ ÇÑ°è·Î ÇâÈÄ ¸î ³â °£ ·ÎÁ÷ ÁýÀûµµ Çâ»ó¿¡ ÀÖ¾î ±× ¿ªÇÒÀÌ ´õ¿í Ä¿Áú °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù. ÀÌ ±â¼úµéÀ» º´ÇàÇØ »ç¿ëÇÏ¸é ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç´Â PPACt(Àü·Â∙¼º´É∙Å©±â∙ºñ¿ë∙½ÃÀåÃâ½Ã±â°£)°¡ Çâ»óµÈ Â÷¼¼´ë ·ÎÁ÷ ĨÀ» ´õ¿í ½±°Ô °³¹ßÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÇÁ¶óºÎ ¶óÀÚ(Prabu Raja) ¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî ¹ÝµµÃ¼ Á¦Ç° ±×·ì ºÎ»çÀå °â ÃÑ°ý ¸Å´ÏÀú´Â “¾îÇöóÀ̵å´Â °í°´À» À§ÇØ PPACt¸¦ ½ÇÇöÇÏ´Â ±â¾÷ÀÌ µÇ´Â °ÍÀÌ Àü·«”À̶ó¸ç, “¿ì¸®´Â °í°´µéÀÌ EUV·Î 2D °øÁ¤¹Ì¼¼È¸¦ Áö¼ÓÇÒ ¼ö ÀÖ´Â 7°³ÀÇ Çõ½Å ±â¼úÀ» °ø°³Çß´Ù”°í ¸»Çß´Ù. ±×´Â “GAA Æ®·£Áö½ºÅÍ´Â ¿À´Ã³¯ÀÇ ÇÉÆê(FinFET) Æ®·£Áö½ºÅÍ¿Í´Â ±Ùº»ÀûÀ¸·Î ´Ù¸¥ ¹æ½ÄÀ¸·Î Á¦À۵ȴÙ. ¾îÇöóÀ̵å´Â ÀÌ»óÀûÀÎ GAA °ÔÀÌÆ® »êȹ°°ú ¸ÞÅ» °ÔÀÌÆ® ±¸ÇöÀ» À§ÇÑ 2Á¾ÀÇ »õ·Î¿î IMS(Integrated Materials Solutions)¸¦ °³¹ßÇÏ¿´À¸¸ç, ¿¡ÇÇÅýÃ(epitaxy) °øÁ¤, ¿øÀÚÃþ ÁõÂø, ¼±ÅÃÀû ¹Ú¸· Á¦°Å °øÁ¤ µî ±¤¹üÀ§ÇÑ GAA Á¦Á¶¿ë Á¦Ç° ¶óÀÎÀ» ¹ßÇ¥Çß´Ù”°í ¸»Çß´Ù.
2D °øÁ¤¹Ì¼¼È È®´ë
EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇÀÇ ÃâÇöÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»çµéÀº ¼±ÆøÀ» ÁÙÀÌ°í Æ®·£Áö½ºÅÍ ÁýÀûµµ¸¦ ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ°Ô µÆ´Ù. ±×·¯³ª EUV¸¦ ÅëÇÑ °øÁ¤¹Ì¼¼È¸¦ Áö¼ÓÇϱâ À§ÇØ ÁõÂø, ½Ä°¢, °èÃø °øÁ¤¿¡¼ »õ·Î¿î ¹æ½ÄÀ» ã¾Æ¾ßÇÏ´Â °úÁ¦¸¦ ¾È°Ô µÆ´Ù.
EUV ·¹Áö½ºÆ® °³¹ß¿¡ ÀÌ¾î ¿þÀÌÆÛ¿¡ ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇϱâ À§Çؼ´Â Çϵ帶½ºÅ©³ª ¿©·¯ Èñ»ý ·¹À̾îµéÀÇ ÁõÂø ¹× ½Ä°¢ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. ÀÌ ¶§ »ç¿ëµÇ´Â Èñ»ý ·¹À̾îµéÀº ÀϹÝÀûÀ¸·Î ½ºÇÉ¿Â(spin-on) ¹æ½ÄÀ¸·Î ÁõÂøµÈ´Ù. ¾îÇöóÀ̵尡 »õ·Î °ø°³ÇÑ EUV¿ë ‘½ºÅÙ»ç ¾îµå¹ê½ºµå ÆÐÅÍ´× Çʸ§(Stensar Advanced Patterning Film)’Àº ¾îÇöóÀ̵åÀÇ ‘ÇÁ¸®½ÃÀü CVD(Precision CVD)’ ½Ã½ºÅÛÀ» ÅëÇØ ÁõÂøµÈ´Ù. ¾îÇöóÀ̵åÀÇ CVD Çʸ§Àº ½ºÇÉ¿Â ÁõÂø°ú ´Ù¸£°Ô EUV Çϵ帶½ºÅ© ·¹ÀÌ¾î µÎ²²¿Í ½Ä°¢ Ư¼ºÀ» Á¶ÀýÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç°¡ ÀÌ Çʸ§À» »ç¿ëÇÏ¸é ¿þÀÌÆÛ Àüü¿¡ ¿Ïº®¿¡ °¡±î¿î EUV ÆÐÅÏ Àü»ç ±ÕÀϵµ¸¦ ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
¾îÇöóÀ̵å´Â ‘Sym3 Y’ ½Ä°¢ ½Ã½ºÅÛµµ ¼Ò°³Çß´Ù. Sym3 Y ½Ä°¢ ½Ã½ºÅÛÀ» »ç¿ëÇÏ¸é °í°´µéÀº µ¿ÀÏ Ã¨¹ö¿¡¼ ¹Ú¸·ÀÇ ½Ä°¢ ¹× ÁõÂøÀÌ °¡´ÉÇØ ¿þÀÌÆÛ¸¦ ½Ä°¢Çϱâ Àü¿¡ EUV ÆÐÅÏÀ» °³¼±ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. Sym3 è¹ö´Â EUV ·¹Áö½ºÆ® ¹°ÁúÀ» ¿Ï¸¸ÇÏ°Ô Á¦°ÅÇÑ ´ÙÀ½ ‘È®·üÀû ¿À·ù’·Î ¹ß»ýÇÑ ÆÐÅÏ °¡º¯¼ºÀ» º¸»óÇÏ¿© ÆòÁØÈÇÏ´Â °íÀ¯ÀÇ ¹æ½ÄÀ¸·Î ¹Ú¸·À» ÀçÁõÂøÇÑ´Ù. °³¼±µÈ EUV ÆÐÅÏÀº ¼öÀ²À» ³ôÀÌ°í ¹ÝµµÃ¼ÀÇ Àü·Â°ú ¼º´ÉÀ» Áõ´ë½ÃŲ´Ù. ÀÌ °°Àº ¾îÇöóÀ̵å Sym3 ±â¼úÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¸Þ¸ð¸® ºÐ¾ß¸¦ ³Ñ¾î ·ÎÁ÷°ú ÆÄ¿îµå¸® ºÐ¾ß¿¡¼µµ ºü¸£°Ô ¼ºÀåÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÇöÀç ¾îÇöóÀ̵å´Â D·¥ ¸Þ¸ð¸® ½ÃÀå¿¡¼ ÄÁ´öÅÍ ½Ä°¢ ½Ã½ºÅÛ ºÐ¾ßÀÇ 1À§ °ø±Þ¾÷ü´Ù.
ÀÌ¿Í ´õºÒ¾î ¾îÇöóÀ̵å´Â ‘ÇÁ·ÎºñÀü(PROVision) ÀüÀÚºö(eBeam)’ °èÃø ±â¼úÀ» ¼±º¸¿´´Ù. ÀÌ ±â¼úÀº Àüü ¿þÀÌÆÛ¿¡ °ÉÃÄ ¸ÖƼ·¹À̾î Ĩ ³»ºÎ¸¦ ÀÚ¼¼È÷ ÃøÁ¤ÇÒ ¼ö Àֱ⠶§¹®¿¡ EUV ÆÐÅÏ ¼±ÆøÀ» Á¤¹ÐÇÏ°Ô °èÃøÇÑ´Ù. ´Ù¸¥ °èÃø ±â¼ú·Î´Â Áø´ÜÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÑ ‘¿§Áö ¹èÄ¡ ¿À·ù’¸¦ ÇØ°áÇÒ ¼ö ÀÖ¾î °í°´¿¡°Ô µµ¿òÀ» ÁÖ°í ÀÖ´Ù. ¾îÇöóÀ̵åÀÇ ÀüÀÚºö ½Ã½ºÅÛ ¼öÀÍÀº 2021³â ¾à µÎ ¹è·Î Áõ°¡ÇÏ¿© ÀüÀÚºö ±â¼ú ºÐ¾ß ¼±µÎ °ø±Þ¾÷ü°¡ µÆ´Ù.
3D GAA Æ®·£Áö½ºÅÍ ¿£Áö´Ï¾î¸µ
»õ·Ó°Ô ºÎ»óÇÑ GAA Æ®·£Áö½ºÅÍ´Â 3D ¼³°è ±â¼ú°ú DTCO ·¹À̾ƿô Çõ½ÅÀ¸·Î 2D °øÁ¤¹Ì¼¼È¸¦ º¸¿ÏÇÏ¿©, 2D °øÁ¤¹Ì¼¼È ÇÑ°è ¼Ó¿¡¼µµ ·ÎÁ÷ ÁýÀûµµ¸¦ ºü¸£°Ô ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ, Àç·á°øÇÐÀÇ Çõ½ÅÀ¸·Î GAA Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ Àü·Â°ú ¼º´Éµµ µ¿½Ã¿¡ Çâ»óµÇ°í ÀÖ´Ù.
±âÁ¸ ÇÉÆê¿¡¼ Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ Àü±âÀû °æ·Î¸¦ Çü¼ºÇÏ´Â ¼öÁ÷ ä³ÎÀº ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ¿Í ½Ä°¢À¸·Î Çü¼ºµÇ´Âµ¥, ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ °í¸£Áö ¾ÊÀº ä³Î ³Êºñ°¡ ¹ß»ýÇÑ´Ù. ÀÌ °°Àº ºÒ±ÕÀÏÇÑ Ã¤³Î ³Êºñ´Â Àü·Â°ú ¼º´É¿¡ ¾Ç¿µÇâÀ» ³¢ÃÄ °í°´µéÀÌ GAA·Î ÀüȯÇÏ´Â ÁÖµÈ ÀÌÀ¯°¡ µÈ´Ù.
GAA Æ®·£Áö½ºÅÍ´Â ÇÉÆê Æ®·£Áö½ºÅ͸¦ 90µµ ȸÀüÇØ Ã¤³ÎÀ» ¼öÁ÷ÀÌ ¾Æ´Ñ ¼öÆòÀ¸·Î ¹Ù²Û ¸ð½À°ú À¯»çÇÏ´Ù. GAA ä³ÎÀº ¿¡ÇÇÅÃ½Ã¿Í ¼±ÅÃÀû ¹Ú¸· Á¦°Å °øÁ¤À¸·Î Çü¼ºµÈ´Ù. °í°´µéÀº ÀÌ ±â¼ú·Î ¹è¼±Æø°ú ±ÕÀϼºÀ» Á¤¹ÐÇÏ°Ô ¿£Áö´Ï¾î¸µ ÇØ ÃÖÀûÀÇ Àü·Â°ú ¼º´ÉÀ» ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¿¡ÇÇÅýà ½Ã½ºÅÛÀº ¾îÇöóÀ̵尡 ⸳ ÈÄ ÃÖÃÊ·Î »ý»êÇÑ Á¦Ç°À¸·Î Áö±Ý±îÁö ½ÃÀå ¼±µÎ ÁöÀ§¸¦ ÁöÅ°°í ÀÖ´Ù. ¾îÇöóÀ̵å´Â 2016³â ‘¼¿·ºÆ®¶ó(Selectra)’ ½Ã½ºÅÛÀ» Ãâ½ÃÇÏ¸ç ¼±ÅÃÀû ¹Ú¸· Á¦°Å ±â¼úÀ» °³Ã´ÇÏ°í ½ÃÀåÀ» ¼±µµÇØ ¿Ô°í, °í°´ÀÌ »ç¿ë ÁßÀÎ ¾îÇöóÀ̵åÀÇ Ã¨¹ö´Â 1000°³°¡ ³Ñ´Â´Ù.
GAA Æ®·£Áö½ºÅÍ Á¦Á¶ÀÇ ÁÖµÈ ¾î·Á¿òÀº ä³Î »çÀÌ °ø°£ÀÌ ¾à 10nm¿¡ ºÒ°úÇÏ°í, ¾ÆÁÖ ÀÛÀº °ø°£ ³» ä³Î 4¸é ¸ðµÎ¿¡ ¸ÖƼ·¹ÀÌ¾î °ÔÀÌÆ® »êȹ°°ú ¸ÞÅ» °ÔÀÌÆ® ½ºÅÃÀ» ÁõÂøÇØ¾ß ÇÑ´Ù´Â Á¡ÀÌ´Ù.
¾îÇöóÀ̵å´Â °ÔÀÌÆ® »êȹ° ½ºÅÃÀ» À§ÇØ ‘IMS’ ½Ã½ºÅÛÀ» °³¹ßÇß´Ù. °ÔÀÌÆ® »êȹ° µÎ²²°¡ ¾ã¾ÆÁú¼ö·Ï ±¸µ¿ Àü·ù¿Í Æ®·£Áö½ºÅÍ ¼º´ÉÀÌ ³ô¾ÆÁø´Ù. ÇÏÁö¸¸ µ¿½Ã¿¡ ´©¼³ Àü·ù ¶ÇÇÑ ³ô¾ÆÁ® Àü·Â ³¶ºñ¿Í ¹ß¿ÀÌ ¹ß»ýÇÑ´Ù. ¾îÇöóÀ̵尡 »õ·Î Ãâ½ÃÇÑ IMS ½Ã½ºÅÛÀº »êȹ° µÎ²²¸¦ Á¾Àü ´ëºñ 1.5 ¿Ë½ºÆ®·Ò(¿øÀÚ »çÀÌÀÇ °Å¸®¸¦ Àç´Â µ¥ ¾²ÀÌ´Â ±æÀÌÀÇ ´ÜÀ§, 1¿Ë½ºÆ®·Ò=0.1³ª³ë¹ÌÅÍ)±îÁö ÁÙ¿´´Ù. À̸¦ ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷ü´Â °ÔÀÌÆ® ´©¼³ Áõ°¡ ¾øÀÌ ¼º´ÉÀ» ³ôÀ̰ųª, ¼º´ÉÀº ±×´ë·Î À¯ÁöÇÑ Ã¤ °ÔÀÌÆ® ´©¼³À» 10ºÐÀÇ 1 ÀÌ»ó ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ IMS ½Ã½ºÅÛÀº ¿øÀÚÃþ ÁõÂø(ALD)°ú ¿Ã³¸® °øÁ¤, ÇöóÁ ó¸® °øÁ¤, °èÃøÀ» ÇϳªÀÇ °í(ÍÔ)Áø°ø ½Ã½ºÅÛÀ¸·Î ÅëÇÕÇß´Ù.
¾îÇöóÀ̵å´Â GAA ¸ÞÅ» °ÔÀÌÆ® ½ºÅà ¿£Áö´Ï¾î¸µÀ» À§ÇÑ IMS ½Ã½ºÅÛµµ ¼±º¸¿´´Ù. °í°´ÀÌ ÀÌ ½Ã½ºÅÛÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¸é °ÔÀÌÆ® µÎ²²¸¦ Á¶ÀýÇØ ¹®ÅÎ Àü¾ÐÀ» Æ©´×ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. À̸¦ ÅëÇØ °¢Á¾ ¸ð¹ÙÀÏ µð¹ÙÀ̽ººÎÅÍ °í¼º´É ¼¹ö¿¡ À̸£´Â ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡¼ ÇÊ¿äÇÑ ÄÄÇ»Æà ¼º´ÉÀ» ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ IMS ½Ã½ºÅÛÀº °íµµÀÇ Áø°ø »óÅ·Π°øÁ¤À» ¼öÇàÇØ ´ë±â¿¡ ³ëÃâµÇ¾î »ý±â´Â ¿À¿°À» ÃÖ¼ÒÈÇÑ´Ù. |