디스플레이 및 반도체 검사장비 전문업체 영우디에스피(143540, 대표이사 박금성)가 디스플레이 검사장비 관련 특허를 등록하며 사업 역량을 강화한다.

영우디에스피는 '디스플레이 검사용 멀티 프로브 유닛' 특허를 등록했다고 31일 밝혔다. 이번 특허는디스플레이 패널 제조 후 전극패드에 전기적 신호를 가함으로써 화소의 불량 유무를 검사하는 멀티 프로브 유닛에 관련된 것이다.

기존에 사용되던 프로브 유닛은 전극패드에 정상적으로 접촉될 수 있도록 각각의 프로브블럭에 대한 컨택 위치를 수동으로 정렬하는 셋업과정을 거친다. 프로브블럭 마다 내장된 이송장치를 통해 개별적으로 좌우방향의 컨택위치와 상하방향 컨택위치 가 정렬되는 방식으로 이루어진다. 이송장치의 내장화로 인해 프로브블럭의 구조 및 제작과정이 복잡해지는 문제가 발생되고 있었다.

회사는 이러한 문제점을 해결하기 위해 각 프로브블럭에 대한 개별적인 컨택 위치 정렬이 자동으로 가능한 디스플레이 검사용 멀티 프로브 유닛을 제공하는 데 목적이 있다. 특허 기술을 적용하게 되면 프로브블럭의 구조가 단순해지고 제작성이 우수해지며 품질 및 유지관리가 매우 용이해져, 중소형 및 대형 디스플레이 검사장비의 경쟁 우위를 더욱 강화할 것으로 기대하고 있다.

이번 특허 취득으로 영우디에스피의 검사장비 사업 역량은 더욱 견고해졌다. 회사는 지난 7월 산업통상자원부가 주관하는 ‘10나노 이하 반도체 결함 검사장비용 자외선 렌즈모듈 실장 성능평가 기술개발’ 사업의 세부주관기관으로 선정됐다. 영우디에스피는반도체 DUV 대물렌즈 실장 및 성능평가용 IQC(수입검사)와 검사기 시스템을 개발한다. 이를 통해 본격적인 반도체 검사장비 사업화도 진행할 계획이다.

영우디에스피 관계자는 “최근 디스플레이 시장이 지속적으로 증가하고 있어 검사장비 기술에 대한 관심 역시 높아질 것으로 보인다”며 “취득한 특허를 기반으로 신사업인 반도체 검사장비 사업을 확대하고, 기존 사업인 디스플레이 검사장비 역량을 강화하겠다”라고 말했다.