Àç·á°øÇÐ ¼Ö·ç¼Ç ºÐ¾ß ±Û·Î¹ú ±â¾÷ ¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî ÄÚ¸®¾Æ(´ëÇ¥ ¸¶Å© ¸®, www.appliedmaterials.com/ko)°¡ °øÁ¤ ¿£Áö´Ï¾î(PSE) ½ÅÀÔ °ø°³ ä¿ëÀ» ÁøÇàÇÑ´Ù. ¼®»ç ¶Ç´Â ¹Ú»ç ÇÐÀ§ ¼ÒÁöÀÚ Áö¿ø °¡´ÉÇÏ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¸ðµç °øÁ¤ ¶óÀξ÷À» º¸À¯ÇÑ ¾îÇöóÀ̵å´Â À̹ø °øä¿¡¼ ¡ã½Ä°¢(etch) ¡ãÈÇбâ°è¿¬¸¶(CMP) ¡ã¿øÀÚÃþÁõÂø(ALD) ¡ã±Ý¼ÓÁõÂø(Metal Deposition) ¡ãEPI(Epitaxial) ¡ãÆÐŰ¡ ¡ãÀÓÇöõÆ® ¡ã°èÃøÁø´Ü Àåºñ ºÐ¾ß ¿£Áö´Ï¾î¸¦ ä¿ëÇÑ´Ù. µû¶ó¼ ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß Àü°øÀÚ°¡ Áö¿øÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ÁÖ¿ä ±Ù¹«Áö´Â ÆòÅÃ, ȼº, ÀÌõÀÌ´Ù.
¾îÇöóÀ̵å PSE ½ÅÀÔ °øä´Â 11¿ù 2ÀϺÎÅÍ ¿ø¼ Á¢¼ö¸¦ ½ÃÀÛÀ¸·Î ¼·ù ½É»ç, µÎ ¹øÀÇ ¸éÁ¢ ÀüÇüÀ» °ÅÃÄ ³»³â 2¿ù ÃÊ ÀԻ簡 È®Á¤µÈ´Ù. ÀÔ»ç ÈÄ 4~6ÁÖ °£ ¹ÝµµÃ¼¿Í ºñÁî´Ï½º °ü·Ã ±³À°À» ¹Þ°í ºÎ¼ ¹èÄ¡µÈ´Ù.
°ø°³ ä¿ë °ø°í´Â 11¿ù 2ÀϺÎÅÍ ¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî ÄÚ¸®¾Æ °ø½Ä ºí·Î±×, ÆäÀ̽ººÏ, ´Ù¾çÇÑ Ã¤¿ë »çÀÌÆ®¿¡¼ È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¾îÇöóÀ̵å´Â °ø°í¿¡ ¾Õ¼ ÀԻ縦 Èñ¸ÁÇÏ´Â Áö¿øÀÚ¿¡°Ô µµ¿òÀÌ µÇµµ·Ï 10¿ù 28ÀÏ ¿ÀÈÄ 5½ÃºÎÅÍ ¶óÀ̺ê Q&A(ÁúÀÇÀÀ´ä) ¿Â¶óÀÎ ¼¼¼ÇÀ» ÁøÇàÇÑ´Ù. ¾îÇöóÀ̵忡 ±Ù¹« ÁßÀÎ °øÁ¤ ¿£Áö´Ï¾î ¼±¹è Á÷¿øµéÀÌ Á÷Á¢ º»ÀÎÀÇ »ý»ýÇÑ °æÇèÀ» °øÀ¯ÇÏ°í Áö¿øÀÚÀÇ ±Ã±ÝÁõÀ» Ç®¾îÁØ´Ù. »çÀü½ÅûÀ» ÅëÇØ Âü¿© °¡´ÉÇÏ¸ç µî·Ï ¹× ÀÚ¼¼ÇÑ ³»¿ëÀº ¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî ÄÚ¸®¾Æ °ø½Ä ºí·Î±×¿¡¼ È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî ÄÚ¸®¾Æ ¸¶Å© ¸® ´ëÇ¥´Â “¾îÇöóÀ̵å ä¿ëÀº ¼ö½Ã·Î ÀÌ·ïÁö´Â °¡¿îµ¥ ¸Å³â ¿¬¸» °øÁ¤ ¿£Áö´Ï¾î ½ÅÀÔ °øä°¡ ÁøÇàµÈ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ¹Ì·¡¸¦ À̲ø Æб⠳ÑÄ¡´Â ±Û·Î¹ú ÀÎÀçµéÀ» ¸¸³¯ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù”°í ¹àÇû´Ù.
ºÐ´ç, ȼº, ÆòÅÃ, ÀÌõ, õ¾È µî Àü±¹ 12°³ »ç¾÷Àå¿¡¼ 1700¿©¸íÀÇ Á÷¿øÀÌ ±Ù¹«ÇÏ´Â ¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¾î¸®¾óÁî ÄÚ¸®¾Æ´Â Áö³ 3³â°£ 800¿©¸íÀÇ ¿ì¼ö ÀÎÀ縦 °í¿ëÇß´Ù. ¿ÃÇØ 7¿ù¿¡´Â °í¿ë³ëµ¿ºÎ ÁÖ°ü ‘2020³â ´ëÇѹα¹ ÀÏÀÚ¸® À¸¶ä±â¾÷’¿¡ ¼±Á¤µÆ´Ù.
¾îÇöóÀ̵å ÄÚ¸®¾Æ´Â ½ÃÂ÷ Ãâ±ÙÁ¦ ¹× Æйи® µ¥ÀÌ Á¶±â Åð±ÙÁ¦, ´Ù¾çÇÑ µ¿È£È¸ È°µ¿, ÀÓÁ÷¿ø ¹× °¡Á· ´ë»ó Àü¹® »ó´ã Áö¿ø µî ÀÏ°ú »ýÈ°ÀÇ ¾ç¸³À» ½ÇõÇϱâ À§ÇÑ ´Ù¾çÇÑ Á¦µµ¸¦ ¿î¿µ ÁßÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ °í°´»ç ¹× ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã ±â°ü°ú Çù¾÷À» ÅëÇØ °øµ¿ ÀÎÀç °³¹ß ÇÁ·Î±×·¥À» ÁøÇàÇÏ°í, ¹Ì±¹ º»»ç¿Í ¿¬°èÇÑ Àü¹® Á÷¹« ¿ª·® °³¹ß ÇÁ·Î±×·¥À» µµÀÔÇÏ´Â µî Á÷¿ø ¿ª·® °È¿¡ Èû¾²°í ÀÖ´Ù. |